O-ring規格下載
O-ring相關資訊
※晶圓廠的設備
※化學傳送系統
※幫浦、閥件、過濾器...等
‧特殊的酸類及電漿(PLASMA)
‧高真空
‧低污染
‧低溢出氣體
※乾製程設備：TEL、LAM、AKT
※濕製程設備：DNS、SES
