光電產業乾製程用抗電漿之氟化橡膠開發計畫
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光電產業乾製程用抗電漿之氟化橡膠開發計畫
由於國內石化大廠均無自行生產氟橡膠之主膠，且大部分的市場被DUPONT 及GREEN TWEED 所佔領，故本計畫擬採用市售之國外氟醚橡膠（現階段鎖定DAIKIN、3M、SOLVEY、AGC 等大廠），
由於國內石化大廠均無自行生產氟橡膠之主膠，且大部分的市場被DUPONT 及GREEN TWEED 所佔領，故本計畫擬採用市售之國外氟醚橡膠（現階段鎖定DAIKIN、3M、SOLVEY、AGC 等大廠），
