產業知識

O-Ring損傷分析

離子體撞擊 PLASMA DEGRADATION

■描述

此密封件呈現變色,表面上還有被侵蝕的損傷與粉末殘餘。

促成的因素

■化學離子與電子的撞擊

  • 不良的溝槽設計

  • 密封件與製程之化學性質不相容

■建議改善方法

  • 使用能抵抗電離子的密封件

  • 檢查溝槽的設計,以抵達遭受電離子的撞擊

  • 使用可抗某些化學性質的產品

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